铜制版研磨机械
常州铬面抛光机铜研磨机常州觉仕机械设备制造有限公司
常州觉仕机械设备制造有限公司专业设计制造为凹印制版配套的电镀生产线、研磨机、铜抛光机、铬抛光机和打样机等版辑制作设备,公司引进国外工作母机,采用欧美先进技术, 2022年5月19日 青岛宏远欣宇机械科技有限公司是一家集研发、制造、销售、售后服务为一体的凹印制版设备提供商。 主要产品有电镀设备、研磨机、镀铜机、镀铬机、镀镍机、 凹印制版设备电镀设备研磨机青岛宏远欣宇机械科技有限公司
铜化学机械研磨方法和设备与流程
2021年3月19日 铜化学机械研磨方法和设备与流程 本发明涉及半导体集成电路制造领域,特别是涉及一种铜 (cu)化学机械研磨 (cmp)方法。 本发明还涉及一种铜化学机械研磨 摘要: 选取具有中等层错能的纯铜,进行表面机械研磨处理 (SMAT),获得表面为纳米晶,晶粒尺寸随深度而增大的梯度组织利用透射电镜对处理样品的横截面组织进行观测,研究表面纳 表面机械研磨处理纯铜的表面纳米化 百度学术
铜化学机械研磨方法
2007年3月21日 本发明提出一种铜化学机械研磨方法,适于平坦化一铜金属层,这层铜金属层覆盖在具有一开口的一基底上并填满开口。这种方法包括先进行一阶段研磨,以 国省代号: CN 摘要: 一种铜化学机械研磨的方法,用于平坦化半导体基底上的铜金属层,包括,执行阶段的研磨去除半导体基底上的铜金属层;执行第二阶段的研磨,移除 铜化学机械研磨的方法 百度学术
不同温度下表面机械研磨对纯铜组织及性能的影响杨新诚王伟
2024年4月23日 利用表面机械研磨(SMAT)技术在纯铜表面制备出梯度结构(GS)层,并且通过改变表面机械研磨的试验温度,研究不同变形温度对纯铜组织及力学性能的影响。利用显微2007年3月21日 一种铜化学机械研磨方法,适于平坦化形成于基底上的一铜金属层,且此铜金属层通常用来填满基底中的开口。 这种方法是先进行阶段研磨,以去除铜金属层 铜化学机械研磨方法百度文库
实验室规模机械研磨制备的铜颗粒和铜复合材料的生成和表征
2023年4月27日 本综述旨在揭示机械研磨作为生成铜基颗粒(铜颗粒 (CuP) 和铜复合材料 (CuC))的替代方法;更具体地说,在实验室规模上通过自上而下或自下而上的方法。铜化学机械研磨设备国际招标公告(1)安华招标网1、招标条件项目概况:满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于铜化学机械研磨设备资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到。硫酸铜研磨机械工艺流程提供化学机械研磨工艺中铜腐蚀铜研磨机械多少钱一台
关于凹印版辊的基础知识科普南方制版印刷
2019年9月4日 关于凹印版辊的基础知识科普,希望对大家了解凹印版辊有所帮助。 上世纪90年代初,受国内包装市场飞速发展和国际制版先进设备迅速更新的影响,制版设备与技术得到快速发展,制版企业遍地开花,版材市场供不应求。90年代中后期,随着计算机的普及与性能提高,制版质量大幅提高,制版周期 凹版铜面抛光机描述: 用于凹印电雕制版上机雕刻前铜层表面抛光,经布轮抛光后的铜层表面光亮如镜。满足点雕制版要求,该机采用全封闭自动作业,很好的保证工作环境,避免操作工人吸入有害灰尘。 凹版铜面抛光机特点: 1、**、自动作业 2典强机械供应泉州DQTP1500凹版铜抛机 铜抛光机 凹印抛光
东莞市宝桢研磨机械有限公司
2019年3月26日 主营产品 高速离心研磨机、不锈钢制品振动研磨抛光机、高铝瓷圆球研磨石、全自动涡流式研磨抛光机、宝桢自动涡流光饰机、脱水烘干机、三次元振动研磨机(带环保隔音盖)、强力高速离心研磨抛光机、环保型振动研磨抛光机、3D光纤研磨机、三次元振动研磨抛光机、宝桢磁性吸料机、离心干式 2016年6月14日 凹印版辊镀铜工艺方法 凹印版辊镀铜:版辊制作的工艺流程:金工滚筒→检验→发配滚筒→滚筒前处理→预镀镍→打磨清洗→镀铜→车磨。 镀镍主要使铜层和辊芯能够很好地接合;镀铜不但要掩盖辊的缺陷,而且要对下道工序――雕刻展示工作面,铜呈粉 凹印版辊镀铜和重新制作的工艺方法 机床商务网
应用于一体化芯片晶圆级集成的铜孔表面平坦化工艺设计与实现
2023年7月13日 摘 要 混合键合技术是感存算一体化芯片晶圆级集成的核心工艺,铜制程化学机械研磨平坦化技术工艺能否在较短的研磨时间取得较高的平整度控制、较小的蝶形和侵蚀缺陷决定了混合键合工艺水平及生产效率;传统铜制程化学机械研磨采用两步研磨法,步用铜 2018年3月14日 东莞金研精密研磨机械制造有限公司于2015年2月7日晚举行2014年年会暨表彰大会,大会总结2014年全体员工齐心协力,锐意进取,奋发图强,勇敢改革创新的精神,为公司带来丰硕的收获。大会上还对为公司作出贡献的优秀员工进行表彰,并期待2015年新的一年我们再度齐心协力延续顽强拼搏的精神 东莞金研精密研磨机械制造有限公司
东莞金研精密研磨机械制造有限公司
特点: 变频控制,实现软启动、停机、刚性冲击小,平稳可靠。 选用日本“NSK”轴系、“西门子”动力装置部件,确保机床恒久稳定性、精密性、耐用性。 配合磨液自动加液装置,使研磨液更能充分利用,减少了研磨液的浪费,更节省耗材成本及符合环保要求。2019年3月26日 主营产品 高速离心研磨机、不锈钢制品振动研磨抛光机、高铝瓷圆球研磨石、全自动涡流式研磨抛光机、宝桢自动涡流光饰机、脱水烘干机、三次元振动研磨机(带环保隔音盖)、强力高速离心研磨抛光机、环保型振动研磨抛光机、3D光纤研磨机、三次元振动研磨抛光机、宝桢磁性吸料机、研磨抛光 东莞市宝桢研磨机械有限公司
上海制版研磨机器设备
上海典强精密机械厂欢迎您,目前我厂主营产品有凹印制版设备,凹版研磨机,凹版打样机,凹版电镀设备,凹版铬抛光机,凹版铜抛光机,清洗机,如果您需要了解凹印制版。7上海迁川制版模具模具修理工铣床。产品工艺工程师、日语翻译、研磨技师、生技、项目。铜化学机械研磨中减少碟陷的方法 来自 百度文库 喜欢 0 阅读量: 57 专利类型: 发明专利 申请 (专利)号: CN9 申请日期: 公开/公告号: CNA 公开/公告日期: 申请 (专利权)人: 联华电子股份有限公司 发明人: 许嘉麟 , 余志展 , 铜化学机械研磨中减少碟陷的方法 百度学术
铜制程化学机械平坦化缺陷分析及改善研究
2017年11月30日 铜制程化学机械平坦化缺陷分析及改善研究 [0] 北京大学 在半导体工艺中,提出和发明化学机械平坦化 (Chemical Mechanical Polish,简称CMP),是微电子业界的巨大创新和改革。 化学机械平坦化在其被发明之后,就为多层布线的应用发挥了巨大的作用。 2021年3月19日 如图1所示,是本发明实施例铜化学机械研磨方法的流程图;如图2所示,是本发明实施例铜化学机械研磨设备的研磨垫清洗装置的结构图;本发明实施例铜化学机械研磨方法中,在对晶圆上的铜层进 铜化学机械研磨方法和设备与流程
东莞市启翔研磨机械有限公司官网
东莞市启翔研磨机械有限公司 ,致力于产品工件表面处理,专业生产各类 振动研磨机、抛光机 、 滚筒研磨抛光机 、 高速离心研磨机 、 脱水及烘干机械 、 脱水烘干机 、 脱水机 、 磁力研磨抛光机 、 流动系列光饰机 、 振动筛选分料机 、 水流式研磨机 、 六角/八角滚桶研磨机 的台资企业,经营 2021年3月19日 如图1所示,是本发明实施例铜化学机械研磨方法的流程图;如图2所示,是本发明实施例铜化学机械研磨设备的研磨垫清洗装置的结构图;本发明实施例铜化学机械研磨方法中,在对晶圆上的铜层进行化学机械研磨之前或之后,进行研磨垫清洗工艺以去除 铜化学机械研磨方法和设备与流程
东莞市圣高机械科技有限公司
2023年1月7日 About Us 东莞市圣高机械科技有限公司成立于2012年,是一家专业从事高精密研磨抛光相关设备及研磨、抛光材料研发、生产和销售的高新技术企业。 圣高的主要产品有单面研磨抛光机、双面研磨抛光机、喷射抛光机、树脂铜盘、树脂铁盘、研磨垫、抛光垫 2019年10月20日 通过热重(TG)分析和差示扫描量热(DSC)技术研究了纳米铜铁复合金属氧化物对高氯酸铵(AP)热分解的催化作用。 结果表明,CuO / Fe 2 O 3 摩尔比为纳米的CuFe复合金属氧化物 与其他纳米CuFe复合金属氧化物,单一纳米CuO和纳米Fe 2 O 3 相比,= 1:2具有最佳的AP 机械研磨法制备纳米铜铁复合金属氧化物及其催化高氯酸铵热
化学机械研磨工艺中铜腐蚀及研究 豆丁网
2015年11月23日 铜作为新的互连材料被引入集成电路的制造之后,以及大马士革工艺的采用,带来了新的工艺挑战。铜在化学机械研磨面临的铜腐蚀问题使得产品良率和可靠性都受到威胁。本文通过实验,量化研究了生产过程中的防腐蚀问题,并通过实验得到了局部的腐蚀防止办法,研磨前的晶圆预处理,避免水与 2023年9月19日 摘要:使用表面机械研磨处理(surface mechanical attrition treatment,SMAT)在液氮环境中分别对退火态铜板进行30、60 s 及120 s 的加工处理 通过对样品进行准静态拉伸测试发现SMAT样品的屈服强度相较于退火态纯铜均提升了2 ~5 倍,其中SMAT 60 s 样品的屈服强度相比于退火态纯铜提高了2113%,而其均匀延伸率仍可保持 液氮环境下表面机械研磨处理对纯铜的影响
关于我们青岛宏远欣宇机械科技有限公司
青岛宏远欣宇机械科技有限公司,创立于2010年,地处山东省青岛市环秀街道环保产业园,占地16600平方米,是一家集研发、制造、销售、售后服务为一体的凹印制版设备提供商。铜化学机械研磨设备国际招标公告(1)安华招标网1、招标条件项目概况:满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于铜化学机械研磨设备资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到。硫酸铜研磨机械工艺流程提供化学机械研磨工艺中铜腐蚀铜研磨机械多少钱一台
关于凹印版辊的基础知识科普南方制版印刷
2019年9月4日 关于凹印版辊的基础知识科普,希望对大家了解凹印版辊有所帮助。 上世纪90年代初,受国内包装市场飞速发展和国际制版先进设备迅速更新的影响,制版设备与技术得到快速发展,制版企业遍地开花,版材市场供不应求。90年代中后期,随着计算机的普及与性能提高,制版质量大幅提高,制版周期 凹版铜面抛光机描述: 用于凹印电雕制版上机雕刻前铜层表面抛光,经布轮抛光后的铜层表面光亮如镜。满足点雕制版要求,该机采用全封闭自动作业,很好的保证工作环境,避免操作工人吸入有害灰尘。 凹版铜面抛光机特点: 1、**、自动作业 2典强机械供应泉州DQTP1500凹版铜抛机 铜抛光机 凹印抛光
东莞市宝桢研磨机械有限公司
2019年3月26日 主营产品 高速离心研磨机、不锈钢制品振动研磨抛光机、高铝瓷圆球研磨石、全自动涡流式研磨抛光机、宝桢自动涡流光饰机、脱水烘干机、三次元振动研磨机(带环保隔音盖)、强力高速离心研磨抛光机、环保型振动研磨抛光机、3D光纤研磨机、三次元振动研磨抛光机、宝桢磁性吸料机、离心干式 2016年6月14日 铜层镀好以后,使用车磨联合机切削或研磨机研磨、抛光机抛光等工序,使版辊的直径公差、平行度公差及表面光洁度均达到要求。由于工艺等原因制得的铜层有时会出现砂眼、短划痕等缺陷。补救方法如下:用直径2mm的铜丝补上再镀。镀铜时间应根据要求的铜层的硬度和厚度而定。凹印版辊镀铜和重新制作的工艺方法 机床商务网
应用于一体化芯片晶圆级集成的铜孔表面平坦化工艺设计与实现
2023年7月13日 摘 要 混合键合技术是感存算一体化芯片晶圆级集成的核心工艺,铜制程化学机械研磨平坦化技术工艺能否在较短的研磨时间取得较高的平整度控制、较小的蝶形和侵蚀缺陷决定了混合键合工艺水平及生产效率;传统铜制程化学机械研磨采用两步研磨法,步用铜 2018年3月14日 东莞金研精密研磨机械制造有限公司于2015年2月7日晚举行2014年年会暨表彰大会,大会总结2014年全体员工齐心协力,锐意进取,奋发图强,勇敢改革创新的精神,为公司带来丰硕的收获。大会上还对为公司作出贡献的优秀员工进行表彰,并期待2015年新的一年我们再度齐心协力延续顽强拼搏的精神 东莞金研精密研磨机械制造有限公司
东莞金研精密研磨机械制造有限公司
特点: 变频控制,实现软启动、停机、刚性冲击小,平稳可靠。 选用日本“NSK”轴系、“西门子”动力装置部件,确保机床恒久稳定性、精密性、耐用性。 配合磨液自动加液装置,使研磨液更能充分利用,减少了研磨液的浪费,更节省耗材成本及符合环保要求。2019年3月26日 主营产品 高速离心研磨机、不锈钢制品振动研磨抛光机、高铝瓷圆球研磨石、全自动涡流式研磨抛光机、宝桢自动涡流光饰机、脱水烘干机、三次元振动研磨机(带环保隔音盖)、强力高速离心研磨抛光机、环保型振动研磨抛光机、3D光纤研磨机、三次元振动研磨抛光机、宝桢磁性吸料机、研磨抛光 东莞市宝桢研磨机械有限公司
上海制版研磨机器设备
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