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江阴粉体连续表面处理机

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等离子清洗机TSVPR05 产品编号： TSVPL06XZ 产品规格：滚筒等离子处理机产品用途：粉状、颗粒产品处理本实用新型公开了一种粉体表面连续改性机，包括改性处理仓，所述改性处理仓的一端设置有进料口，所述改性处理仓的另一端设置有出料口，所述改性处理仓内设置有主轴和第二主轴，所述主轴具有传动装置，所述第二主轴具有第二传动装置，所述传动装置和所述第二传动装置 CNU 粉体表面连续改性机 Google Patents

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Oct 19, 2023 等离子表面处理机是一种应用低温等离子体来进行材料表面活化、清洁、改性的设备，工艺参数有很多，主要包括射频频率与功率、腔体真空度、反应时间、腔体温度、工艺气体种类及流量等。了解各个工艺参数在等离子表面处理过程中的作用，对 BMD P300为远程微波等离子体表面处理机台，适用于812英寸晶圆的等离子体表面改性、去除残渣、干法去胶等工艺。具备低损伤、高刻蚀速率、高刻蚀均匀性、高亲水性、兼容大翘曲及可刻蚀不同材质晶圆等性能优势。机台采用模块化设计，可全自动并行作业微波等离子体表面处理系统产品管理北方华创

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